Disseny i realitzacio d'accelerometres capacitius pendulars en silici monocristal.Li

Resumen

EN ESTA TESIS SE REFLEJAN CADA UNA DE LAS ETAPAS RECORRIDAS PARA LA OBTENCION DE DISPOSITIVOS ACELEROMETROS DE DETECCION CAPACITIVA MEDIANTE ESTRUCTURAS PENDULARES DE SILICIO MONOCRISTALINO. EN LA PRIMERA ETAPA SE REALIZA UN ESTUDIO COMPARATIVO DE LAS VENTAJAS E INCONVENIENTES DE DIVERSAS ESTRUCTURAS CON MOVIMIENTO LINEAL Y PENDULAR. ADEMAS SE DESARROLLA UN PROCEDIMIENTO BASADO EN EL METODO DE LOS ELEMENTOS FINITOS PARA ANALIZAR EFECTOS TANTO MECANICOS COMO DE AMORTIGUAMIENTO VISCOSO Y SE LLEGA A LA CONCLUSION DE QUE LA PRESENCIA DE PERFORACIONES EN LAS ESTRUCTURAS PERMITE EL CONTROL DEL AMORTIGUAMIENTO. POSTERIORMENTE, EN LA ETAPA DE REALIZACION, SE FABRICAN TRES MODELOS DE ACELEROMETRO PENDULAR MEDIANTE ATAQUE ANISOTROPO ELECTROQUIMICO DE SILICIO MONOCRISTALINO Y SOLDADURA SILICIO-VIDRIO. LA CARACTERIZACION DINAMICA DE LOS DISPOSITIVOS CORROBORA EXPERIMENTALMENTE LA POSIBILIDAD DE CONTROL DE AMORTIGUAMIENTO.