Electrochemical deposition of copper on n-Si/TiN

  1. Oskam, G
  2. Vereecken, PM
  3. Long, JG
  4. Moran, BJ
  5. Searson, PC
Colección de libros:
PROCEEDINGS OF THE SYMPOSIA ON ELECTROCHEMICAL PROCESSING IN ULSI FABRICATION I AND INTERCONNECT AND CONTACT METALLIZATION: MATERIALS, PROCESSES, AND RELIABILITY
  1. Andricacos, PC (coord.)
  2. Dukovic, JO (coord.)
  3. Mathad, GS (coord.)
  4. Oleszek, GM (coord.)
  5. Rathore, HS (coord.)
  6. Simpson, CR (coord.)

ISBN: 1-56677-200-1

Año de publicación: 1999

Volumen: 98

Número: 6

Páginas: 84-91

Congreso: Symposium on Electrochemical Processing in ULSI Fabrication I at the 193rd Meeting of the Electrochemical-Society

Tipo: Aportación congreso

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Fuente de los datos: WoS