Capacitive pressure microsensor fabricated by bulk micromachining and sacrificial layer etching

  1. Luque, A.
  2. Bolea, R.G.
  3. Fernández-Bolaños, M.
  4. Ionescu, A.
  5. Quero, J.M.
Aktak:
IECON Proceedings (Industrial Electronics Conference)

ISBN: 9781424401369

Argitalpen urtea: 2006

Orrialdeak: 2969-2974

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1109/IECON.2006.348052 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus