Disseny i realitzacio d'accelerometres capacitius pendulars en silici monocristal.Li

  1. RUIZ SANCHEZ, OSCAR
unter der Leitung von:
  1. Josep Samitier Martí Doktorvater/Doktormutter

Universität der Verteidigung: Universitat de Barcelona

Jahr der Verteidigung: 1996

Gericht:
  1. Joan Ramon Morante Lleonart Präsident/in
  2. Santiago Marco Colás Sekretär/in
  3. Luis Castañer Muñoz Vocal
  4. Emilio Lora Tamayo Vocal
  5. Jaume Esteve Tintó Vocal

Art: Dissertation

Teseo: 51999 DIALNET

Zusammenfassung

En esta tesis se reflejan cada una de las etapas recorridas para la obtención de dispositivos acelerómetros de detección capacitiva mediante estructuras pendulares de silicio monocristalino. En la primera etapa se realiza un estudio comparativo de las ventajas e inconvenientes de diversas estructuras con movimiento lineal y pendular. Ademas se desarrolla un procedimiento basado en el metodo de los elementos finitos para analizar efectos tanto mecánicos como de amortiguamiento viscoso y se llega a la conclusión de que la presencia de perforaciones en las estructuras permite el control del amortiguamiento. Posteriormente, en la etapa de realización, se fabrican tres modelos de acelerómetro pendular mediante ataque anisótropo electroquímico de silicio monocristalino y soldadura silicio-vidrio. La caracterización dinámica de los dispositivos corrobora experimentalmente la posibilidad de control de amortiguamiento.