Disseny i realitzacio d'accelerometres capacitius pendulars en silici monocristal.Li
- Josep Samitier Martí Director
Universidade de defensa: Universitat de Barcelona
Ano de defensa: 1996
- Joan Ramon Morante Lleonart Presidente/a
- Santiago Marco Colás Secretario/a
- Luis Castañer Muñoz Vogal
- Emilio Lora Tamayo Vogal
- Jaume Esteve Tintó Vogal
Tipo: Tese
Resumo
En esta tesis se reflejan cada una de las etapas recorridas para la obtención de dispositivos acelerómetros de detección capacitiva mediante estructuras pendulares de silicio monocristalino. En la primera etapa se realiza un estudio comparativo de las ventajas e inconvenientes de diversas estructuras con movimiento lineal y pendular. Ademas se desarrolla un procedimiento basado en el metodo de los elementos finitos para analizar efectos tanto mecánicos como de amortiguamiento viscoso y se llega a la conclusión de que la presencia de perforaciones en las estructuras permite el control del amortiguamiento. Posteriormente, en la etapa de realización, se fabrican tres modelos de acelerómetro pendular mediante ataque anisótropo electroquímico de silicio monocristalino y soldadura silicio-vidrio. La caracterización dinámica de los dispositivos corrobora experimentalmente la posibilidad de control de amortiguamiento.