Disseny i realitzacio d'accelerometres capacitius pendulars en silici monocristal.Li

Abstract

En esta tesis se reflejan cada una de las etapas recorridas para la obtención de dispositivos acelerómetros de detección capacitiva mediante estructuras pendulares de silicio monocristalino. En la primera etapa se realiza un estudio comparativo de las ventajas e inconvenientes de diversas estructuras con movimiento lineal y pendular. Ademas se desarrolla un procedimiento basado en el metodo de los elementos finitos para analizar efectos tanto mecánicos como de amortiguamiento viscoso y se llega a la conclusión de que la presencia de perforaciones en las estructuras permite el control del amortiguamiento. Posteriormente, en la etapa de realización, se fabrican tres modelos de acelerómetro pendular mediante ataque anisótropo electroquímico de silicio monocristalino y soldadura silicio-vidrio. La caracterización dinámica de los dispositivos corrobora experimentalmente la posibilidad de control de amortiguamiento.