Raquel Del Pilar
González Bolea
École Polytechnique Fédérale de Lausanne
Lausana, SuizaPublications en collaboration avec des chercheurs de École Polytechnique Fédérale de Lausanne (1)
2006
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Capacitive pressure microsensor fabricated by bulk micromachining and sacrificial layer etching
IECON Proceedings (Industrial Electronics Conference)