Raquel Del Pilar
González Bolea
École Polytechnique Fédérale de Lausanne
Lausana, SuizaPublicacións en colaboración con investigadores/as de École Polytechnique Fédérale de Lausanne (1)
2006
-
Capacitive pressure microsensor fabricated by bulk micromachining and sacrificial layer etching
IECON Proceedings (Industrial Electronics Conference)