Electrodeposition of copper in trenches from a citrate plating bath

  1. Lizama Tzec, F.I.
  2. Oskam, G.
Actes:
ECS Transactions

ISSN: 1938-6737,  1938-5862

ISBN: 9781566778008

Any de publicació: 2009

Volum: 25

Número: 27

Pàgines: 195-201

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1149/1.3318518 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus