Electrodeposition of copper in trenches from a citrate plating bath

  1. Lizama Tzec, F.I.
  2. Oskam, G.
Aktak:
ECS Transactions

ISSN: 1938-6737 1938-5862

ISBN: 9781566778008

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 25

Zenbakia: 27

Orrialdeak: 195-201

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1149/1.3318518 GOOGLE SCHOLAR