Electrodeposition of copper in trenches from a citrate plating bath
- Lizama Tzec, F.I.
- Oskam, G.
ISSN: 1938-6737, 1938-5862
ISBN: 9781566778008
Datum der Publikation: 2009
Ausgabe: 25
Nummer: 27
Seiten: 195-201
Art: Konferenz-Beitrag
Konferenzberichte:
ECS Transactions