Characterization of silicon surfaces in HF solution using microwave reflectivity

  1. Natarajan, A.
  2. Oskam, G.
  3. Searson, P.C.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Any de publicació: 1998

Volum: 83

Número: 4

Pàgines: 2112-2120

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.366945 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus