Characterization of silicon surfaces in HF solution using microwave reflectivity

  1. Natarajan, A.
  2. Oskam, G.
  3. Searson, P.C.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1998

Ausgabe: 83

Nummer: 4

Seiten: 2112-2120

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.366945 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus