Electrochemical deposition of gold on N-type silicon

  1. Oskam, G
  2. Searson, PC
Büchersammlung:
ELECTROCHEMICAL PROCESSING IN ULSI FABRICATION AND SEMICONDUCTOR/METAL DEPOSITION II, PROCEEDINGS
  1. Andricacos, PC (coord.)
  2. Searson, PC (coord.)
  3. ReidsemaSimpson, C (coord.)
  4. Allongue, P (coord.)
  5. Stickney, JL (coord.)
  6. Oleszek, GM (coord.)

ISBN: 1-56677-231-1

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 99

Nummer: 9

Seiten: 318-328

Kongress: International Symposium on Electrochemical Processing in ULSI Fabrication II

Art: Konferenz-Beitrag

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Fuente de los datos: WoS