Electrodeposition of copper into trenches from a citrate plating bath

  1. Lizama-Tzec, F.I.
  2. Canché-Canul, L.
  3. Oskam, G.
Revista:
Electrochimica Acta

ISSN: 0013-4686

Any de publicació: 2011

Volum: 56

Número: 25

Pàgines: 9391-9396

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.ELECTACTA.2011.08.023 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus