Electrodeposition of copper into trenches from a citrate plating bath

  1. Lizama-Tzec, F.I.
  2. Canché-Canul, L.
  3. Oskam, G.
Aldizkaria:
Electrochimica Acta

ISSN: 0013-4686

Argitalpen urtea: 2011

Alea: 56

Zenbakia: 25

Orrialdeak: 9391-9396

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.ELECTACTA.2011.08.023 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus