Electrodeposition of copper into trenches from a citrate plating bath
- Lizama-Tzec, F.I.
- Canché-Canul, L.
- Oskam, G.
ISSN: 0013-4686
Datum der Publikation: 2011
Ausgabe: 56
Nummer: 25
Seiten: 9391-9396
Art: Artikel
Zeitschrift:
Electrochimica Acta