Electrodeposition of copper in trenches from a citrate plating bath

  1. Lizama Tzec, F.I.
  2. Oskam, G.
Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-6737 1938-5862

ISBN: 9781566778008

Año de publicación: 2009

Volumen: 25

Número: 27

Páginas: 195-201

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/1.3318518 GOOGLE SCHOLAR