Characterization of silicon surfaces in HF solution using microwave reflectivity

  1. Natarajan, A.
  2. Oskam, G.
  3. Searson, P.C.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Año de publicación: 1998

Volumen: 83

Número: 4

Páginas: 2112-2120

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.366945 GOOGLE SCHOLAR
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