Electrodeposition of copper into trenches from a citrate plating bath
- Lizama-Tzec, F.I.
- Canché-Canul, L.
- Oskam, G.
ISSN: 0013-4686
Año de publicación: 2011
Volumen: 56
Número: 25
Páginas: 9391-9396
Tipo: Artículo
Revista:
Electrochimica Acta